飲水設(shè)備用微小流量計(jì)作為眾多流量計(jì)中的一種，是利用改變流通面積的方法來(lái)測(cè)量流量的流量計(jì)。它帶有溫度、壓力傳感器，配備溫度、壓力傳感器可測(cè)量標(biāo)況體積流量和質(zhì)量流量，從而顯示氣體的標(biāo)況體積流量。采用鋰電池供電可不間斷運(yùn)行一年以上，可以直接測(cè)量出飽和蒸汽的溫度并計(jì)算出壓力，安裝非常方便。
就理想氣體而言，氣體的比熱是不隨壓力而變化的常值，所以輸出訊號(hào)僅與氣體的質(zhì)量流量成正。一般的真實(shí)氣體其比熱受壓力影響的變動(dòng)幅度很小故仍可用輸出訊號(hào)直接代表質(zhì)量流量。認(rèn)為與壓力的大小無(wú)關(guān)。在實(shí)用中，因難于計(jì)量氣體的質(zhì)量來(lái)標(biāo)定儀表，故常以換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(760毫米汞柱、0℃或760毫米汞柱、20℃)的氣體體積(用“標(biāo)升”或標(biāo)立米”表示)來(lái)標(biāo)稱氣體的質(zhì)量。
飲水設(shè)備用微小流量計(jì)與恒溫差式流量計(jì)的結(jié)構(gòu)類似，在測(cè)量管路中同樣加入兩個(gè)金屬鉑電阻，一個(gè)為用于測(cè)量被測(cè)流體溫度的測(cè)溫電阻，另一個(gè)為用于測(cè)量被測(cè)流體速度的測(cè)速電阻。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過(guò)檢測(cè)電橋的電壓差來(lái)反應(yīng)流體流量。
那么當(dāng)測(cè)量出現(xiàn)誤差時(shí)應(yīng)如何進(jìn)行檢查呢？
1、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程；
2、零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)；
3、氣體是否純凈，如果盤(pán)路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃。
